专为超高真空环境研发的高精度电控位移台,可在真空度高达 10-5Pa 的条件下长期稳定工作。
真空兼容电控台
♦ 产品介绍
GCV-DT-xxxM 系列是大恒光电专为超高真空环境研发的高精度电控位移台,可在真空度高达 10-5Pa 的条件下长期稳定工作。系列提供 50mm、100mm、150mm 三种行程,对应型号分别为 GCV-DT-050M、GCV-DT-100M 和 GCV-DT-150M,用户可根据实际需要进行选择。
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| GCV-DT-050M | GCV-DT-100M | GCV-DT-150M |
GCV-DV-015M是大恒光电专为超高真空环境研发的高精度电控升降台,能够在真空度高达10-5Pa的条件下实现长期稳定运行。
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| GCV-DV-015M升降台 |
这两系列产品适用于半导体加工、真空镀膜、同步辐射、空间模拟等需要在高真空或超高真空环境中进行精密定位的场合。建议配合大恒光电控制器使用(见文末),可实现更优的运动控制精度与真空环境适配性。
♦ 产品特点
• 产品主体采用不锈钢材料,兼顾结构刚度并有效降低出气率,保障腔体内真空稳定性,满足真空环境的特殊要求;
• 驱动部分采用真空适配型步进电机,解决真空环境下散热难题,确保电机不过热、不失效;
• 配合高精密滚珠丝杠与直线导轨,确保在真空环境中实现高精度、低抖动的平稳运动;
• 所有型号均采用紧凑型设计,台面尺寸80×80mm,整体厚度45mm;
• GCV-DV升降台电机带断电抱闸功能,可确保升降台在掉电后位置精确保持。
♦ 参数规格
GCV-DT真空电控位移台

GCV-DV真空电控升降台

♦ 相关产品
该产品搭配大恒光电GCD-03系列步进电机控制器及配套软件,可达到更优精度。
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| GCD-0301系列步进电机控制器(紧凑型) | GCD-0304系列步进电机控制器 |
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